中國(guó)教育報(bào)-中國(guó)教育新聞網(wǎng)訊（通訊員 湯悅 記者 劉盾）近日，深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測(cè)試平臺(tái)正式落成。作為深圳市首個(gè)聚焦化合物半導(dǎo)體光電子領(lǐng)域的公共服務(wù)平臺(tái)，該平臺(tái)的投用，填補(bǔ)了深圳在“光載信息”和“智能傳感”半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的空白。該平臺(tái)將為粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供重要支撐，筑牢深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)根基。

據(jù)介紹，中心建筑面積2600平方米，其中千級(jí)、百級(jí)及萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)面積達(dá)2100平方米。作為深圳市首個(gè)同時(shí)支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務(wù)平臺(tái)，中心配置120余臺(tái)套先進(jìn)教學(xué)與研發(fā)工藝設(shè)備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測(cè)試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設(shè)計(jì)—加工—封裝—測(cè)試”一站式技術(shù)解決方案。

在人才培養(yǎng)方面，中心以“科研牽引、產(chǎn)業(yè)協(xié)同、人才培養(yǎng)”為使命，精準(zhǔn)對(duì)接深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)需求，致力于打造國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新高地。依托深技大集成電路與光電芯片學(xué)院，中心組建了由50多名高層次科研人員構(gòu)成的核心團(tuán)隊(duì)，已構(gòu)建起從基礎(chǔ)研究到工藝實(shí)現(xiàn)、從中試到產(chǎn)業(yè)化的完整創(chuàng)新鏈條。中心將深度融合科研與教學(xué)，助力構(gòu)建實(shí)踐型人才培養(yǎng)體系，為產(chǎn)業(yè)輸送高素質(zhì)專(zhuān)業(yè)人才，實(shí)現(xiàn)教學(xué)、科研、產(chǎn)業(yè)三大目標(biāo)的精準(zhǔn)對(duì)接。

深技大黨委書(shū)記陳秋明表示，半導(dǎo)體微納加工中心與測(cè)試平臺(tái)將以專(zhuān)業(yè)化、高水平的半導(dǎo)體加工與測(cè)試服務(wù)為抓手，加速推動(dòng)半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用、市場(chǎng)化推廣，為深圳市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和坪山區(qū)“中國(guó)芯”支柱產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。